amhs:FabEX是一種最佳化的、"無需等待"的自動物料傳送 ... | amhs系統
簡介AMHSAutomaticMaterialHandlingSystem,中文譯作自動物料搬送系統,也有稱為天車系統的。這種搬送系統的套用範圍還是蠻多的,比如說機場的貨物運輸,自動化工廠的物料運輸,在我的記憶中,似乎上海圖書館也有這種類似的圖書自動搬送系統。AMHS套用範圍最廣的還是在半導體[1]晶圓廠。之所以晶圓廠會大規模的採用AMHS,基本上是基于它可以快速準確的將Carrier搬送到目的地,較少wafer的idletime,減少MO。但早期的6英寸晶圓廠由于wafer[2]本身重量有限,套用並不是很廣,後來隨著8英寸晶圓廠的興起,AMHS的套用開始漸漸興盛起來。設計...
簡介AMHSAutomaticMaterialHandlingSystem,中文譯作自動物料搬送系統,也有稱為天車系統的。這種搬送系統的套用範圍還是蠻多的,比如說機場的貨物運輸,自動化工廠的物料運輸,在我的記憶中,似乎上海圖書館也有這種類似的圖書自動搬送系統。 AMHS套用範圍最廣的還是在半導體[1]晶圓廠。之所以晶圓廠會大規模的採用AMHS,基本上是基于它可以快速準確的將Carrier搬送到目的地,較少wafer的idletime,減少MO。但早期的6英寸晶圓廠由于wafer[2]本身重量有限,套用並不是很廣,後來隨著8英寸晶圓廠的興起,AMHS的套用開始漸漸興盛起來。
設計改進AMHS的搬送一般分為Interbay和Intrabay,OHS負責Interbay,而OHT(AGV/PGV/RGV)負責Intrabay。最初的AMHS的Interbay和Intrabay都是相互獨立的,中間通過Stocker連線起來。跨Bay的搬送也必須要通過Stocker才可以實現,即OHT+OHS+OHT。如Intel最早期的FAB廠,就可以看到這種款式的AMHS。在這種設計下,stocker的作用不僅僅是wafer的存儲,他還扮演了更為重用的wafer搬送的橋梁作用。如果說某一條bay上的Stocker發生了嚴重故障,很有可能會影響到這個bay上的waferMovement。
後來工程師們發現,跨BAY的搬送必須通過Stocker來完成,實在是影響效率,故在此基礎上加以改進,產生了第二代的AMHS,即部分區域跨Bay的搬送也可以由Intrabay的OHT來實現。即我們通常所說的EQtoEQ的直接搬送。
再然後,AMHS的設計研究人員發現,採用了這種EQtoEQ的直接搬送可以大大縮短Carrier[3]的搬送時間,從而縮短wafer的cycletime,同時還可以大幅度的降低AMHS搬送效率對于Stocker的穩定性的依賴。所以,他們索性設計出了全廠性的EQtoEQ的第三代AMHS,即所有的Intrabay和interbay完全由OHT來實現,不需要Stocker作為中轉。這種情況下,stocker僅僅扮演了WaferStorage的角色。如,AMD的FAB就有這種設計。
再然後,AMHS的使用者覺得,由于stocker的搬...