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语音[1]编辑[2]锁定[3]讨论[4]上传视频[5]上传视频[6]自动物料搬送系统(AMHSAutomaticMaterialHandlingSystem)顾名思义是搬送物料的一套系统,随着人力成本的上升,以及生产的智能化、精细化程度的提高,传统人力在各个机台间人力搬运已经成为生产效率和生产质量的瓶颈,在高端制造业中已经开始普及AMHS系统例如晶圆厂,液晶平板厂等,未来相信会走进更多的生产领域中文名自动物料搬送系统外文名AMHSAutomaticMaterialHandlingSystem也称为天车系统应用范围在半导体[7]晶圆厂AMHSAutomaticMaterialHandlingSystem,中文译作自动物料...
语音[1] 编辑[2] 锁定[3] 讨论[4] 上传视频[5] 上传视频[6]自动物料搬送系统 (AMHS Automatic Material Handling System)
顾名思义是搬送物料的一套系统,随着人力成本的上升,以及生产的智能化、精细化程度的提高,传统人力在各个机台间人力搬运已经成为生产效率和生产质量的瓶颈,在高端制造业中已经开始普及AMHS系统例如晶圆厂,液晶平板厂等,未来相信会走进更多的生产领域
中文名 自动物料搬送系统 外文名 AMHSAutomaticMaterialHandlingSystem 也称为 天车系统 应用范围 在半导体[7]晶圆厂 AMHSAutomaticMaterialHandlingSystem,中文译作自动物料搬送系统,也有称为天车系统的。这种搬送系统的应用范围还是蛮多的,比如说机场的货物运输,自动化工厂的物料运输,在我的记忆中,似乎上海图书馆也有这种类似的图书自动搬送系统。 AMHS应用范围最广的还是在半导体[8]晶圆厂。之所以晶圆厂会大规模的采用AMHS,基本上是基于它可以快速准确的将Carrier搬送到目的地,较少wafer的idletime,减少MO。但早期的6英寸晶圆厂由于wafer[9]本身重量有限,应用并不是很广,后来随着8英寸晶圆厂的兴起,AMHS的应用开始渐渐兴盛起来。 AMHS的搬送一般分为Interbay和Intrabay,OHS负责Interbay,而OHT(AGV/PGV/RGV)负责Intrabay。最初的AMHS的Interbay和Intrabay都是相互独立的,中间通过Stocker连接起来。跨Bay的搬送也必须要通过Stocker才可以实现,即OHT+OHS+OHT。如Intel[10]最早期的FAB厂,就可以看到这种款式的AMHS。在这种设计下,stocker的作用不仅仅是wafer的存储,他还扮演了更为重用的wafer搬送的桥梁作用。如果说某一条bay上的Stocker发生了严重故障,很有可能会影响到这个bay上的waferMovement。后来工程师们发现,跨BAY的搬送必须通过Stocker来完成,实在是影响效率,故在此基础上加以改进,产生了第二代的AMHS,即部分区域跨Bay的搬送也可以由Intrab...
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12吋晶圓廠的自動化趨勢:AMHS | amhs系統
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