[心得] 半導體黃光製程工作內容分享- 精華區NCKU_PHY | 半導體od poly
作者unfree(有愛的世界)看板Tech_Job標題[心得]半導體黃光製程工作內容分享時間FriApr2700:17:442012(一)製程概觀參考書籍:IntroductiontoSemiconductorManufacturingTechnologybyXiao半導體製程主要分六個module,分別是:微影(lithography),蝕刻(etching),薄膜(thinfilm),擴散(diffusion),離子植入(ionimplant),與化學機械研磨(chemicalmechanicalpolishing).可以將電晶體的製程想成蓋房子,首先製作STI(shallowtrenchisolation)區分發揮電性的silocon與絕緣的siliconoxide.植入離子產生N/Pwell.製作polygate當做電晶體的開關,接著製作...
作者unfree (有愛的世界)
看板Tech_Job
標題[心得] 半導體黃光製程工作內容分享
時間Fri Apr 27 00:17:44 2012
(一) 製程概觀 參考書籍: Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology by Xiao 半導體製程主要分六個module, 分別是: 微影 (lithography) , 蝕刻 (etching) , 薄膜 (thin film), 擴散 (diffusion), 離子植入 (ion implant), 與 化學機械研磨 (chemical mechanical polishing). 可以將電晶體的製程想成蓋房子,首先製作STI (shallow trench isolation)區分 發揮電性的silocon與絕緣的silicon oxide.植入離子產生N/P well.製作poly gate當做電晶體的開關,接著製作contact,填入金屬稱為plug,一層層的metal line 蓋上去成為電路,每層metal layer間以via連接,最後有passivation layer保護. 習慣上把contact以前稱為FEOL (front end of line,前段),contact稱為 MEOL (middle end of line,中段),metal開始稱為BEOL (Back end of line, 後段). 其中,微影也常被稱為黃光,一部分原因是因為光阻中的PAG (photo-induced acid generator,曝光後產生酸,接著採取連鎖反應.)怕白光,所以無塵室內微影區是以黃 光照明.黃光工程師的工作是以光阻曝光產生固定的pattern後,接著利用蝕刻將其 轉印在晶圓上(如oxide, poly, metal, via layer, layer前的名字代表將產生半導體內 的哪個單位).也有可能是光阻曝光後, 利用implant將ion植入silicon產生電性 (implant layer,其中包含: well, LDD, S/D, cell, I/O).與photo (黃光)合作關係 最密切的就是etch與implant....取得本站獨家住宿推薦 15%OFF 訂房優惠
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零基礎入門晶片製造行業-- | 半導體od poly
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2012年4月27日 — 製作poly gate當做電晶體的開關,接著製作contact,填入金屬稱為plug,一層 ... poly, metal, via layer, layer前的名字代表將產生半導體內的哪個單位). Read More
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2011年11月8日 — MOSFET M: Metal (or n + -poly, p + -poly) O: Oxide (gate oxide) S: Semiconductor (p-Si or n-Si) FET: Field effect transistor (E y , E x ); 7 ... Read More
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