平整度測試儀: | 平整度測試
儀器簡介平整度測試系統,採用光學方法測量晶圓、藍寶石、Sic、Si、玻璃等材質的表面特徵,在無需任何接觸的情況下測量厚度、TTV、LTV、彎曲度、平整度等,可線上和離線測量。儀器特點■厚度、TTV、LTV、翹曲度、彎曲度、平坦度測量;■無接觸測量;■無需校準;■高精度、高重複性;■樣品台可選:4寸、6寸、8寸;■強大的分析軟體,可顯示3D表面形貌;■同時進行各種參數的測量,具備超高的測試速度;部分技術指標■TTV■精確度:±0.1um■重複性精度:0.01um■厚度■精確度:±0.2um■重複性精度:0.1um■測試範圍:50-2000um■翹曲度/彎曲度■精確度:0.5um■重複性...
儀器簡介平整度測試系統,採用光學方法測量晶圓、藍寶石、Sic、Si、玻璃等材質的表面特徵,在無需任何接觸的情況下測量厚度、TTV、LTV、彎曲度、平整度等,可線上和離線測量。
儀器特點■厚度、TTV、LTV、翹曲度、彎曲度、平坦度測量;
■無接觸測量;
■無需校準;
■高精度、高重複性;
■樣品台可選:4寸、6寸、8寸;
■強大的分析軟體,可顯示3D表面形貌;
■同時進行各種參數的測量,具備超高的測試速度;
部分技術指標■TTV
■精確度:±0.1um
■重複性精度:0.01um
■厚度
■精確度:±0.2um
■重複性精度:0.1um
■測試範圍:50-2000um
■翹曲度/彎曲度
■精確度:0.5um
■重複性精度:0.2um
■測試範圍:200um
■整機參數
■測量時間:<100秒
■最大測量尺寸:8寸
■尺寸:550*602*291mm
■整機功率:800W
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