EUV是個什麼酷東西? — 決定未來半導體先進製程的關鍵技術 | euv全名
![EUV是個什麼酷東西? — 決定未來半導體先進製程的關鍵技術](https://i.imgur.com/axBPWDg.jpg)
日期:2020/12/04文:B.H.Huang/校稿:Y.C.Lo閱讀程度:普通閱讀時間:5min這兩年我們常常看到以下這些科技新聞:「三星動工國內第6座晶圓生產線!採5奈米EUV製程,迎戰台積電」、「台積電掃貨EUV光刻機,三星為什麼落後了?」,EUV這個字眼一直出現在各大半導體新聞,感覺是個很重要的技術,可是心裡又一堆問號這到底在幹嘛,別擔心,今天SemiKnow手把手來帶你認識「EUV」。EUV,全名為ExtremeUltraviolet,中文叫做「極紫外光」,是一種波長極短的紫外光,一般生活中要塗乳液防曬的紫外線波長約在100~400奈米,而極紫外光才13.5奈米...
![EUV是個什麼酷東西? — 決定未來半導體先進製程的關鍵技術](https://i.imgur.com/H8YKUrg.jpg)
日期:2020/12/04文:B.H.Huang / 校稿: Y.C.Lo閱讀程度:普通閱讀時間:5 min
這兩年我們常常看到以下這些科技新聞:「三星動工國內第 6 座晶圓生產線!採 5 奈米 EUV 製程,迎戰台積電」、「台積電掃貨 EUV 光刻機,三星為什麼落後了?」,EUV這個字眼一直出現在各大半導體新聞,感覺是個很重要的技術,可是心裡又一堆問號這到底在幹嘛,別擔心,今天SemiKnow手把手來帶你認識「EUV」。
EUV,全名為Extreme Ultraviolet,中文叫做「極紫外光」,是一種波長極短的紫外光,一般生活中要塗乳液防曬的紫外線波長約在100~400奈米,而極紫外光才13.5 奈米而已,可說是頻率更高、能量更強的光,不過因為這個波段的光很容易被空氣等介質吸收,反而不如紫外光對人體有那麼多影響哦!
在上一篇《打造IC裡的樂高世界 — 微影製程》[1]裡我們提到微影製程(Lithography) 就是用光在晶圓上面刻出我們想要的圖案,而因為電晶體的尺寸不斷在微縮,到了近幾年10奈米以下的製程,就需要使用EUV來當作光的來源。但是,為什麼要是EUV?為什麼不能用其他的可見光?那蠟...