[心得] 半導體黃光製程工作內容分享- 精華區NCKU_PHY | 半導體poly
作者unfree(有愛的世界)看板Tech_Job標題[心得]半導體黃光製程工作內容分享時間FriApr2700:17:442012(一)製程概觀參考書籍:IntroductiontoSemiconductorManufacturingTechnologybyXiao半導體製程主要分六個module,分別是:微影(lithography),蝕刻(etching),薄膜(thinfilm),擴散(diffusion),離子植入(ionimplant),與化學機械研磨(chemicalmechanicalpolishing).可以將電晶體的製程想成蓋房子,首先製作STI(shallowtrenchisolation)區分發揮電性的silocon與絕緣的siliconoxide.植入離子產生N/Pwell.製作polygate當做電晶體的開關,接著製作...
作者unfree (有愛的世界)
看板Tech_Job
標題[心得] 半導體黃光製程工作內容分享
時間Fri Apr 27 00:17:44 2012
(一) 製程概觀 參考書籍: Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology by Xiao 半導體製程主要分六個module, 分別是: 微影 (lithography) , 蝕刻 (etching) , 薄膜 (thin film), 擴散 (diffusion), 離子植入 (ion implant), 與 化學機械研磨 (chemical mechanical polishing). 可以將電晶體的製程想成蓋房子,首先製作STI (shallow trench isolation)區分 發揮電性的silocon與絕緣的silicon oxide.植入離子產生N/P well.製作poly gate當做電晶體的開關,接著製作contact,填入金屬稱為plug,一層層的metal line 蓋上去成為電路,每層metal layer間以via連接,最後有passivation layer保護. 習慣上把contact以前稱為FEOL (front end of line,前段),contact稱為 MEOL (middle end of line,中段),metal開始稱為BEOL (Back end of line, 後段). 其中,微影也常被稱為黃光,一部分原因是因為光阻中的PAG (photo-induced acid generator,曝光後產生酸,接著採取連鎖反應.)怕白光,所以無塵室內微影區是以黃 光照明.黃光工程師的工作是以光阻曝光產生固定的pattern後,接著利用蝕刻將其 轉印在晶圓上(如oxide, poly, metal, via layer, layer前的名字代表將產生半導體內 的哪個單位).也有可能是光阻曝光後, 利用implant將ion植入silicon產生電性 (implant layer,其中包含: well, LDD, S/D, cell, I/O).與photo (黃光)合作關係 最密切的就是etch與implant....取得本站獨家住宿推薦 15%OFF 訂房優惠
半導體製程ppt 半導體od poly 半導體爐管設備 半導體metal層 半導體四大製程 peox半導體 半導體爐管製程 POLY 開 模 odr半導體 via中文半導體 poly cd半導體 愛烤愛對囉 餐 卷 華夏國際股份有限公司ptt 職業男女服飾 timberland皮夾正版 hello kitty黃金墜子 Shipping container tower 泰莉莎旅店電話 2020台北設計獎 微笑的語言許維芳 brita on tap轉接頭
本站住宿推薦 20%OFF 訂房優惠,親子優惠,住宿折扣,限時回饋,平日促銷
半導體產業及製程 | 半導體poly
半導體產業及製程. TSMC. FAB14. 張永政 ... hundreds or even thousands of I.C. on a wafer (thin circular disc) of silicone. D (Drain). Gate Ox. Poly. S (Source). Si ... Read More
第一章緒論 | 半導體poly
由 許家維 著作 · 2004 — 在半導體製程中,沈積多晶矽(Poly film)時,一般都是利用爐管方式做沈積,. 也就是使用低壓化學氣相沉積(LPCVD;Low Pressure chemical vapor deposition)方. 式,藉著矽 ... Read More
國立交通大學機構典藏 | 半導體poly
由 黃景裕 著作 · 2009 — 件線寬不斷縮小下,半導體製程技術越趨困難,已無法用一致化的程式來面對多. 元化的產品,因此 ... Brief Process Flow - Gate Oxide and POLY. 3 Gate Oxide ... Read More
半導體& ETCH 知識,你能答對幾個? | 半導體poly
2020年10月21日 — 答:poly,oxide,metal. 半導體中一般金屬導線材質為何? 答:鵭線(W)/鋁線(Al)/銅線(Cu). 何謂dielectric 蝕刻(介電質蝕刻)?. 答:Oxide etch and ... Read More
半導體製程簡介 | 半導體poly
容成形過程中重要的步驟之一,可用來修正薄膜性質與製程結果。 多晶矽(poly)通常用來形容半導體電晶體之部分結構:至於. 在某些半導體元件上常見的磊晶 ... Read More
半導體poly 材質半導體製程技術– Elleve | 半導體poly
3/15/2006 · 半導體製程中常常簡稱Polysilicon(多晶矽)為Poly。如同金屬,主要可以分為單晶矽(a-Silicon),而耐受磨損及承重之PPS TECATRON CM GF40 ... Read More
如何裝著很懂半導體晶圓製造? | 半導體poly
2017年9月7日 — 答:poly,oxide, metal. 何謂dielectric 蝕刻(介電質蝕刻)?. 答:Oxide etch and nitride etch. 半導體中一般介電質材質為何? 答:氧化矽/氮化矽. Read More
半導體製程技術 | 半導體poly
半導體製程技術. IC ... 阻材料清除,最後在半導體表面得到與光罩圖 ... 矽晶中一般均須加入電活性雜質原子(如三價的硼,五價的砷或磷) ,來控制半導體,形成P、N. Read More
[心得] 半導體黃光製程工作內容分享- 精華區NCKU_PHY | 半導體poly
2012年4月27日 — 黃光工程師的工作是以光阻曝光產生固定的pattern後,接著利用蝕刻將其轉印在晶圓上(如oxide, poly, metal, via layer, layer前的名字代表將產生 ... Read More
半導體製程 | 半導體poly
半導體原理及應用(II) ... MOSFET M: Metal (or n + -poly, p + -poly) O: Oxide (gate oxide) S: Semiconductor (p-Si or n-Si) FET: Field effect transistor (E y , E x ); 7. Read More
半導體製程學習筆記 | 半導體poly
半導體製程學習筆記** - @BYHUANGJ - 以下圖文內容參考至[清大吳永俊教授 ... (2) 高濃度N型多晶矽(N+ poly-si)之微影與As或P植入,再移除光阻。for nFET ... Read More
多晶矽氮氧化矽(PolySiON) | 半導體poly
2014年7月6日 — 多晶矽氮氧化矽(Poly/SiON)是一項由台積電於2009年6月18日正式對外發布的28奈米技術,同時配合配合雙/三閘極氧化層(dual/triple gate oxide)製程, ... Read More
晶圓薄膜epi | 半導體poly
複晶型(polycrystalline)- poly-Si –電極. 單晶(single crystal) : 晶圓. 薄膜epi-Si. 晶向: <100> <111> x y z. <111>. 平面. <100>. 2. 為何是矽? • 豐富,便宜. Read More
金屬氧化物半導體場效電晶體 | 半導體poly
金屬氧化物半導體場效電晶體(簡稱:金氧半場效電晶體;英語:Metal-Oxide-Semiconductor ... 的壓控電阻特性亦可在積體電路裡用來取代傳統的多晶矽電阻(poly resistor), ... Read More
電子半導體多晶體Ploy | 半導體poly
某純物質的原子或分子的堆積方式是由許多種體積較小,堆積方向面均不同的晶粒(Grains)所組成的純物質結構。各個晶粒間相接觸的部份,稱為「晶粒邊界(Grain Boundary)」 ... Read More
錦霆科技股份有限公司- 多晶矽,矽晶圓,矽材料 | 半導體poly
半導體製程學習筆記 | 半導體poly
2023年7月5日 — (1) 沉積一層未參雜多晶矽(undoped poly-si); (2) 高濃度N型多晶矽(N+ poly-si)之微影與As或P植入,再移除光阻。for nFET; (3) 高濃度P型多晶矽(P+ poly ... Read More
多晶矽氮氧化矽(PolySiON) | 半導體poly
2014年7月6日 — 多晶矽氮氧化矽(Poly/SiON)是一項由台積電於2009年6月18日正式對外發布的28奈米技術,同時配合配合雙/三閘極氧化層(dual/triple gate oxide)製程, ... Read More
金屬氧化物半導體場效電晶體 | 半導體poly
另外,金氧半場效電晶體在線性區的壓控電阻特性亦可在積體電路裡用來取代傳統的多晶矽電阻(poly resistor),或是MOS電容本身可以用來取代常用的多晶矽—絕緣體—多晶矽 ... Read More
半導體材料簡介及應用 | 半導體poly
2022年7月31日 — 半導體材料結構半導體材料大體可分成三大區塊,即單晶、多晶、非晶。 半導體 ... 2.低溫多晶矽(Low Temperature Poly-silicon;簡稱LTPS). 薄膜電晶體液晶 ... Read More
半导体工艺流程 | 半導體poly
2020年12月7日 — 半导体的工艺流程 · 半导体的工艺流程:主要包括四个方面,单晶硅片制造、IC芯片设计、晶圆制造和封装测试。这四大流程里,除了IC芯片设计对于半导体设备 ... Read More
電子半導體多晶體Ploy | 半導體poly
各個晶粒間相接觸的部份,稱為「晶粒邊界(Grain Boundary)」。半導體上,做為電阻及電極導體的「多晶矽(Poly-Silicon)」,就是多晶體的一種。 Read More
訂房住宿優惠推薦
NT$930